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半導體晶圓傳送設備

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產品介紹

雙臂設計快速交替取放晶圓
高精度Robot穩定搬送產品
搭配OCR精準判讀M12.T7晶圓刻號
告訴精準對位Aligner
L/P可對應8/12寸FOUP.FOSB.CST及OHT/AGV等傳送設備
客製化機台潔淨度需求

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