適用於8吋晶圓廠 SMIF POD1.將POD內晶圓對各式不同Cassette進行轉換2.快速批量轉換/傳送(POD to 3種Cassette互傳)3.Wafer/POD/卡匣對帳功能確保入料/出料帳目正確4.設備環境通過無塵等級認證