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半導體晶圓傳送設備

晶圓卡匣交換設備
聯絡人
公司電話:(06)201-3657
公司傳真:(06)201-2352
電子郵件:ID.Service@seec.com.tw
產品介紹

適用於8吋晶圓廠 SMIF POD
1.將POD內晶圓對各式不同Cassette進行轉換
2.快速批量轉換/傳送(POD to 3種Cassette互傳)
3.Wafer/POD/卡匣對帳功能確保入料/出料帳目正確
4.設備環境通過無塵等級認證

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