適用於8吋晶圓廠 SMIF POD1.產出能力:Throughput ≥ 45Lots/小時2.取代人員上下料/目檢/清潔/拆解/組裝工序3.清潔區域:設備環境達ISO Class34.使廠內POD料件規格統一,作為汰舊換新標準依據5.大幅精簡POD清潔人員負荷(一條線約減少8個作業人員)